• Вакуум: все диапазоны HV/UHV/EUV до 10-11 мбар • Смазочная жидкость до 10-8 / сухая до 10-11 мбар • Макс. Температура обжига: 120°C • Апертура: 80 x 80 мм. Опционально конфигурируется: • С измерительной системой или без нее • Опционально с ходовым винтом или шарико-винтовой передачей со смазкой для более высоких скоростей • Может комбинироваться с поворотными столами (например, DT155) для ротационных операций • Выбор материала и вакуумная смазка, адаптированные к применению • Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере • Конструкция для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) • Опционально с контроллером FMC400/450 Высочайшая стабильность в нанометровом диапазоне , даже в сухом режиме Система позиционирования с апертурой для проходящего света была объединена из двух линейных столиков LT300, чтобы сформировать точный и прочный столик XY для применения в высоком вакууме, сверхвысоком вакууме и в условиях сильного ультрафиолетового излучения. Система работает полностью без смазки. Его концепция скрещенных роликовых направляющих и ходового винта обеспечивает чрезвычайно высокую стабильность в нанометровом диапазоне. Опционально эта система может быть оснащена шарико-винтовой передачей со смазкой для более высоких скоростей. Области применения Прецизионное позиционирование тяжелых грузов, исследования в сверхвысоком вакууме и в условиях сильного ультрафиолетового излучения, подготовка образцов, сканирование образцов, обработка образцов, биочипы, выравнивание камер, исследование материалов, анализ материалов, лучевая линия, ускоритель, синхротрон
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияXYТипмоторизованныйКоличество осей2 осиДругие характеристикисовместим с вакуумом, с открытым центром, со встроенным шаговым двигателем, с контроллером, для тяжелых нагрузок, шариковый винт, скрещенный роликХод
10 мм (0,394 дюйма)
Частота вращения
5 мм /s
