Анализатор влажности 5910, использующий технологию кристаллов кварца, обеспечивающую скорость, точность и стабильность калибровки, предназначен для анализа газов сверхвысокой чистоты (UHP) при непрерывном мониторинге и аналитических тележках. Обладая исключительной стабильностью базовой линии и чувствительностью к изменениям концентрации влаги в долях на миллиард по объему (ppbv), он обеспечивает одну из самых быстрых доступных скоростей отклика. Модель 5910 чувствительна к изменениям концентрации влаги менее 500 частей на триллион по объему (pptv), что обеспечивает точность более ±100 pptv, или ±10% от показаний. Разработанный для непрерывного мониторинга газов сверхвысокого давления или установки на аналитических тележках, прибор 5910 идеально подходит для производства ЖК-/OLED-дисплеев и полупроводниковой промышленности. СКОРОСТЬ РЕАКЦИИ Тщательно спроектированный и оснащенный системой обогрева, 5910 обеспечивает непревзойденную скорость реагирования в течение нескольких минут, а не часов, при изменении уровня влажности ppbv. Обычно он достигает 80% от ступенчатого изменения 25 ppbv в любом направлении менее чем за десять минут. ЛЕГКОСТЬ В ИСПОЛЬЗОВАНИИ На датчик 5910 не влияет фоновый газ, даже потоки водорода и кислорода легко контролировать, поскольку датчики QCM не подвержены ошибкам рекомбинации. Смена газов осуществляется просто с помощью меню программного обеспечения. Регуляторов расхода и давления нет, которые нужно было бы регулировать. ВНУТРЕННЯЯ ПРОВЕРКА Модель 5910 способна быстро и точно проверить нулевую базовую линию. Внутренний осушитель создает нулевой газ из пробы газа, тем самым позволяя проверять базовую линию анализатора.
Технические характеристики
ХарактеристикиИзмеряемый материалдля газаДругие характеристикис цифровым дисплеем
