Системы на базе мощного эксимерного лазера COMPex представляют собой гибкие инструменты для высококачественной УФ-микрообработки с линейным или квадратным полем луча.
Превосходная оптическая конструкция, надежная механика и эксимерный лазер с непревзойденной стабильность от импульса к импульсу обеспечивает точные результаты. Приложения включают лазерное разделение (LLO), активацию легирующих ионов, абляционное формирование рисунка и отжиг тонких пленок.
Технические характеристики
Технические характеристики продукта
Параметр | VarioLas Eco | VarioLas Pro | VarioLas Sweep |
Форма поля | Квадрат | Квадрат | Линия |
Размер поля (мм2) | 2 x 2 | 2 x 2 | 50 x 0,6 |
Оптический Разрешение (мкм) | 30 | 5 | – |
