Система позиционирования XYZ удерживает головку датчика и сканирует лазерный луч по образцу. Система позиционирования XYZ используется для позиционирования зондового луча интерферометра и его сканирования по интересующей области. Система позиционирования построена на основе трех позиционеров SmarAct с замкнутым контуром, заключенных в компактный защитный корпус. Каждый позиционер имеет максимальный диапазон сканирования 20 мм и повторяемость 50 нм. Головка датчика установлена на самом нижнем позиционере. Система позиционирования XYZ установлена на стойке диаметром 25 мм, поэтому ее высота легко регулируется для размещения образцов разных размеров. Можно даже снять систему позиционирования с монтажной стойки, чтобы установить ее в индивидуальной конфигурации или объединить с другим инструментом.
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осейXYZОсобенности лазерДругие характеристикикомпактный
