Портал XYZ AFM для проверки пластин, микроскопии | ход до 550 x 1550 мм | пневмоподшипник, шариковый винт, ремень, шаговый двигатель. Высокостабильный портал с воздушным подшипником AFM с большим диапазоном перемещения. Этот очень жесткий портал XYZ специально разработан для высокоточного атомно-силового микроскопического исследования (АСМ) особенно больших образцов стекла. Над U-образной платформой для образцов находится подвижная консоль по оси Z для индивидуальной АСМ. Кантилевер можно точно выровнять по образцу и переместить в любую точку U-образной формы для получения рельефа поверхности. Воздушный подшипник обеспечивает превосходную точность позиционирования в плоскости. Максимальный вес образца – 500 кг. Атомная стабильность для сложных измерений · Идеально подходит для очень жестких и точных измерений без влияния вибрации · Высокая пропускная способность благодаря перемещениям 150 x 275 x 50 мм с возможностью расширения до 550 x 1550 x 50 мм · Чрезвычайная стабильность в состоянии покоя 5 нм и выше · Выдающийся длительный срок службы благодаря использованию неизнашиваемых воздушных подшипников. Возможность расширения: · Интеграция дополнительных датчиков в процесс · Индивидуальная адаптация путей перемещения, комбинации длин, кабелей и системы управления · Ножки для дополнительной защиты от вибраций здания · Версии для чистые помещения ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) · Соединения для вытяжки · Специальная конфигурация для биотехнологии, медицинской техники, фармацевтики, полупроводников · Опционально с предварительно сконфигурированным контроллером, вкл. образцовое программное обеспечение для немедленного использования
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осейXYZОсобенности порталПриложениядля контроля и метрологии пластин, для микроскопииДругие характеристикибольшая апертура, воздушный подшипник, шариковый винт, с шаговый двигательПовторяемость
2,5 мкм, 4,5 мкм, 5,5 мкм, 6,5 мкм
