XY-поворотные этапы с линейными двигателями и двигателями с прямым крутящим моментом, разработанные с низким профилем для обработки пластин и многих других автоматизированных приложений точного позиционирования в промышленности по производству полупроводников. Привод линейного двигателя XY обеспечивает субмикронное позиционирование XY, а вращающаяся ступень с прямым приводом обеспечивает производительность до дуговых секунд.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияXY, поворотнаяТип линейный серводвигательДругие характеристикидля работы с пластинамиХод
10 мм (0,394 дюйма)
Скорость
200 мм/с
