• Вакуум: все диапазоны HV/UHV/EUV до 10E-11 мбар • Смазочная жидкость до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар • Макс. Температура обжига: 120°C • Доступна магнитная версия. Опционально конфигурируется: • Выбор материала и вакуумная смазка в соответствии с применением • Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере • Версия для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) ) • Опционально с контроллером FMC400/450. Используется в качестве мощного компонента для многоосных систем, а также для одновременного сканирования нескольких образцов. Это обеспечивает очень точное позиционирование при высоких нагрузках в сверхвысоком вакууме, даже в вертикальном направлении. Области применения Настройка многоосных систем, автоматизация процессов, 3D-сканирование, сканирование образцов, позиционирование систем визуализации, микроскопия, анализ образцов, проверка полупроводников, обеспечение качества в биотехнологии и полупроводниковых технологиях, исследования, лучевая линия, ускоритель, синхротрон
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияXYZТипмоторизованныйКоличество осеймногоосевойДругие характеристикивысокая точность, совместимость с вакуумом, для микроскопов, для тяжелых нагрузок, со встроенным шаговым двигателем, с контроллером, для перемещения пластин, скрещенный роликХод
60 мм, 130 мм (2,362 дюйма)
Скорость диапазон>
5 мм/с
Повторяемость
Мин.: 0,5 мкм
Макс.: 4 мкм
