Многополосный монитор плазменных процессов C10346-01 — это система, специально разработанная для мониторинга оптических излучений плазмы, возникающих в ходе различных процессов производства полупроводников, включая травление, напыление, очистку и CVD. MPM может обрабатывать многоканальную запись в режиме реального времени. Технические характеристики Номер типа: C10346-01 Диапазон длин волн: от 200 до 950 нм Точность длины волны: ±0,75 нм Разрешение длины волны (FWHM):
Технические характеристики
ХарактеристикиПрименениеизмерение, процесс, выбросы, плазмаИнтерфейсUSB 2.0Другие характеристикицифровой, в режиме реального времени
