Независимая разработанная оптическая система обнаружения в светлом и темном поле используется для обнаружения дефектов внешнего вида полупроводникового сырья, эпитаксиальных пластин и пластин с рисунком. Преимущества продукта: Применимо к различным пластинам. Подходит для 4–8-дюймовых пластин, подложек, эпитаксиальных пластин и пластин с рисунком. Может обнаруживать различные дефекты. Обнаруживать частицы, ямки, неровности, царапины, пятна, трещины и другие дефекты. Высокое разрешение. Разрешение системы: 1–10 мкм. Высокая скорость обнаружения. Пластина без шаблона: 180 секунд на пластину, когда количество дефектов менее 200.
Технические характеристики
ХарактеристикиПрименениеполупроводниковые
