5-осевой турбонасос на магнитной подвеске со ступенью сопротивления для скорости перекачки до 1400 л/с для N2. Продукт • — Работа со встроенной электроникой привода OBC или электроникой внешнего привода Magpower • — Установка в любой ориентации • — Водяное охлаждение • — Маркировка CE и соответствует требованиям ROHS • — Доступна версия с подогревом (MT) для агрессивных сред. • — ATH-M – это компактные турбомолекулярные насосы, признанные в мире в полупроводниковой и лакокрасочной промышленности. Широкая мировая база установки для легких и тяжелых процессов для размеров фланцев DN200 и DN250.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиятурбомолекулярнаяСмазкамасло- свободныйКоличество ступенейодноступенчатыйПропускная способность
Макс.: 1400 л/ с (369,84 галлонов США/с)
Мин.: 0 л/с (0 галлонов США/с)
