Интерферометр белого света IMS5600-DS используется для измерения расстояний с высочайшей точностью. Контроллер предлагает специальную калибровку с интеллектуальной оценкой и позволяет проводить абсолютные измерения с субнанометровым разрешением. Интерферометр используется для задач измерения с самыми высокими требованиями к точности, например, в производстве электроники и полупроводников. Для вакуумных применений Micro-Epsilon предлагает специальные датчики, кабели и проходные аксессуары. Эти датчики и кабели в высокой степени не содержат частиц и могут использоваться даже в сверхвысоком давлении. Система выдает абсолютные значения измерений и поэтому может использоваться для измерения расстояний профилей ступеней. Благодаря абсолютному измерению шаги выбираются с высокой стабильностью сигнала. Таким образом, при измерениях на движущихся объектах можно надежно обнаружить разницу в высоте пяток, ступенек и углублений. Измерительная система обеспечивает субнанометровое разрешение с большим расстоянием смещения по отношению к диапазону измерения. При многопиковом измерении расстояния на прозрачных объектах одновременно оценивается до 14 значений расстояния. Например, можно определить расстояние между стеклом и несущей пластиной. Затем контроллер может рассчитать толщину стекла на основе значений расстояния. Интерферометры IMS5600-DS можно использовать для задач измерения в вакууме и чистых помещениях, где интерферометры достигают разрешения в субнанометровом диапазоне.
Технические характеристики
ХарактеристикиПрименениедля измерения субнанометрового смещения, для измерения расстоянияПараметры оптический, белый свет
