Инфракрасные мониторы толщины листов измеряют толщину полупрозрачных листов, таких как сепараторы батарей, покрытия с низкой отражающей способностью, такие как черный резист, и кремний. Его можно использовать во всех приложениях, от лабораторного уровня до 100% контроля на производстве. Система поглощения инфракрасного излучения состоит из компактного зеркального зонда с пропускающей оптической системой, которая позволяет одновременно измерять несколько параметров, таких как толщина пленки, плотность и состав на более чем 100 длинах волн. 1 Измеряет толщину полупрозрачных листов, пленок с низким коэффициентом отражения, кремния и т. д., что было затруднительно при использовании оптической интерферометрии. 2 Компактный датчик. Используя небольшой отражающий датчик диаметром 30 мм, его можно установить в небольшом пространстве оборудования или производственных линий. . Кроме того, поскольку зонд подключается к основному корпусу только с помощью оптоволоконного кабеля, он обладает превосходной устойчивостью к воздействию окружающей среды. 3 Высокоскоростное измерение Одновременный отбор проб ближнего инфракрасного диапазона длин волн от 950 до 1650 нм в 100 или более точках 4 Воспроизводимость измерения толщины 0,1% или менее (3σ) 5 Алгоритмы измерения
Технические характеристики
ХарактеристикиТипстационарныйПрименениепленка, для листовых материаловТехнологияСпектральное отражениеДиапазон измерения
Макс.: 1650 нмМакс.: 1650 нм p>
Мин.: 950 нм
