Блок картографирования пластин способен автоматически измерять толщину картографической пленки по всей поверхности пластин до 300 мм. Функция автоматического выравнивания, функция самокалибровки и патрон для пластин высокой плоскостности обеспечивают высоконадежное измерение толщины пленки. Данное устройство используется в сочетании с компактным монитором толщины пленки. Его можно установить в порту загрузки оборудования для производства полупроводников для контроля толщины пленки на производственном оборудовании, сохраняя при этом чистоту. 1 Возможно автоматическое измерение толщины пленки пластины толщиной до 300 мм. 2 Функция автоматического выравнивания. 3 Функция автоматической калибровки. 4. Повышенная надежность измерений на поверхности пластины за счет применения патрона для пластин с высокой плоскостностью. 5. Поддержка автоматизации. 6. Установка загрузочного порта.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипстационарныйПрименениепленочныйТехнологияспектральное отражениеКалибровкаавтоматическая калибровкаДиапазон измерения
300 мм (11,81 дюйма)
