Сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным лучом для сверхвысокого разрешения, высококачественной подготовки образцов и трехмерного определения характеристик. Thermo Scientific Scios 2 DualBeam — это аналитическая сканирующая электронная микроскопия с фокусированным ионным лучом (FIB-SEM) со сверхвысоким разрешением, которая обеспечивает превосходную подготовку образцов и характеристики 3D-характеристики для широкого спектра образцов, включая магнитные и непроводящие материалы. Благодаря инновационным функциям, предназначенным для повышения производительности, точности и простоты использования, Scios 2 DualBeam является идеальным решением для удовлетворения потребностей ученых и инженеров в передовых исследованиях и анализе в академических, правительственных и промышленных исследовательских средах. Определение характеристик подповерхностных слоев. Для лучшего понимания структуры и свойств образца часто требуется определение подповерхностных или трехмерных характеристик. Scios 2 DualBeam с дополнительным программным обеспечением Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) позволяет осуществлять высококачественный, полностью автоматизированный сбор мультимодальных наборов 3D-данных, включая визуализацию с помощью обратнорассеянных электронов (BSE) для максимальной контрастности материалов, энергодисперсии. спектроскопия (EDS) для получения информации о составе и дифракция обратного рассеяния электронов (EBSD) для получения микроструктурной и кристаллографической информации. В сочетании с программным обеспечением Thermo Scientific Avizo Scios 2 DualBeam представляет собой уникальное решение для рабочего процесса для расширенной трехмерной характеристики и анализа с высоким разрешением в нанометровом масштабе. Визуализация в обратных и вторичных электронах Инновационная электронная колонка NICol обеспечивает основу для визуализации и обнаружения высокого разрешения системы.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипсфокусированное ионное сканирование электроновТехнические применения для анализа, для исследований, метрологии, промышленные, для контроля качества, для исследования материалов, для полупроводниковТехника наблюдения3DТип детекторавторичный электронДругие характеристикиавтоматический, сверхвысокое разрешениеРазрешение
0,7 нм, 1,2 нм , 1,4 нм