Фрезерование сфокусированным ионным лучом и фемтосекундная лазерная абляция Лазерные системы Thermo Scientific Helios 5 PFIB сочетают плазменно-фокусированное ионное фрезерование с фемтосекундной лазерной абляцией и визуализацией SEM (сканирующая электронная микроскопия). Эта комбинация «TriBeam» обеспечивает получение изображений и анализ с высоким разрешением с возможностью абляции in situ, обеспечивая беспрецедентную скорость удаления материала для быстрой характеристики в миллиметровом масштабе с нанометровым разрешением. Фемтосекундный лазер может резать многие материалы со скоростью, на несколько порядков превышающей скорость обычного FIB. Большое поперечное сечение (сотни микрометров) можно создать менее чем за пять минут. Поскольку лазер имеет другой механизм удаления (абляция по сравнению с ионным распылением FIB), он может легко обрабатывать сложные материалы, такие как непроводящие или чувствительные к ионному пучку образцы. Чрезвычайно короткая длительность фемтосекундных лазерных импульсов практически не приводит к появлению таких артефактов, как тепловое воздействие, микротрещины, плавление или типичных для традиционной механической полировки. В большинстве случаев поверхности, обработанные лазером, достаточно чистые для прямого получения изображений с помощью SEM и даже для таких чувствительных к поверхности методов, как картирование дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD). Мы предлагаем широкий ассортимент продукции и расширенные возможности автоматизации для таких приложений, как подготовка проб для просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ), подготовка проб для атомно-зондовой томографии (APT) и трехмерный структурный анализ.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипсфокусированное ионное сканирование электроновТехнические применения для контроля качества, для исследования материаловТехника наблюдения3D, in-situИсточник светалазерЛазер span>Источник ионовплазменныйТип детектораEBSDДругие характеристикивысоко- разрешение, высокоскоростноеРазрешение
515 нм, 1030 нм
