Сканирующий электронный микроскоп с плазменно-фокусированным ионным пучком для подготовки образцов ПЭМ, включая трехмерную характеристику, поперечное сечение и микрообработку. Thermo Scientific Helios 5 Plasma FIB (PFIB) DualBeam (сканирующий электронный микроскоп с фокусированным ионным лучом или FIB-SEM) обеспечивает непревзойденные возможности для материаловедения и полупроводниковых приложений. Для исследователей в области материаловедения Helios 5 PFIB DualBeam обеспечивает трехмерную характеристику больших объемов, подготовку образцов без галлия и точную микрообработку. Для производителей полупроводниковых приборов, передовых упаковочных технологий и устройств отображения Helios 5 PFIB DualBeam обеспечивает безвредную обработку большой площади, быструю подготовку образцов и высокоточный анализ отказов. Подготовка образцов STEM и TEM без галлия. Высококачественная подготовка образцов для TEM и APT без галлия благодаря новой колонке PFIB, обеспечивающей окончательную полировку Xe+ при 500 В и обеспечивающей превосходные характеристики во всех рабочих условиях. Усовершенствованная автоматизация. Самая быстрая и простая автоматизированная многозонная подготовка ПЭМ-образцов in situ и ex situ и срезы с использованием дополнительного программного обеспечения AutoTEM 5. Колонка FIB с ксеноновой плазмой 2,5 мкА нового поколения Высокая производительность и качество, статистически значимая трехмерная характеристика, поперечное сечение и микрообработка с использованием колонки FIB с ксеноновой плазмой 2,5 мкА нового поколения (PFIB). Мультимодальная информация о недрах и трехмерная информация Получите доступ к высококачественной мультимодальной информации о недрах и трехмерной информации с точным нацеливанием на интересующую область с помощью дополнительного программного обеспечения Auto Slice & View 4 (AS&V4).
Технические характеристики
ХарактеристикиТипсфокусированное ионное сканирование электроновТехнические применения для материаловедения, для полупроводниковТехника наблюдения3DИсточник ионовплазма, ксенонДругие характеристикивысокое разрешение, автоматизированноеРазрешение
0,6 нм, 0,7 нм, 1 нм, 1,2 нм
