Тета-выравнивание XY масок воздействия УФ | Высокоточная система позиционирования для экспонирования пластин в атмосфере сухого азота Precision Assemblies 786001:002.26 Тета-выравнивание масок для УФ-экспонирования по XY | Высокоточная система позиционирования для экспонирования пластин в атмосфере сухого азота — Precision Assemblies Выравнивание по микронам для микроструктурирования в экстремальных условиях. Эта 3-осевая система масок специально разработана для высокоточного выравнивания экспонирующих масок для УФ-литографии. Эта система позиционирования имеет три линейные оси с параллельной кинематической схемой: две по X и одну по Y. Две вертикальные оси создают как вертикальный ход (равномерное движение), так и вращение (противоположное движение). Таким образом, это обеспечивает высокоточное линейное и вращательное позиционирование масок в нанометровом диапазоне под воздействием ультрафиолетового излучения, а также в сверхсухой атмосфере азота. Высокоточное УФ-экспонирование пластин • Идеально подходит для автоматизированной EUV-литографии с высоким разрешением • Очень точное XY тета-выравнивание масок экспонирования до 0,03 мкрад • Подходит для УФ-излучения, а также для сверхсухой, бескислородной атмосферы чистого азота • Минимизация рассеяния излучение благодаря интегрированной концепции смазки и покрытия • Гибкая интегрированная концепция технического обслуживания, при которой система перемещается вбок от оптической оси. Опционально расширяемые: • Различные пути перемещения • Выбор материала и смазка, адаптированные к применению • Индивидуальные решения для интеграции в применение по индивидуальному заказу • Версия для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу)
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осейXYОсобенности линейный, вертикальныйПрименениедля работы с пластинамиДругие характеристикис двигателем постоянного тока, с высоким разрешением, шарико-винтовой паройПовторяемость
1,5 мкм, 2,5 мкм
Ход
50 мм, 150 мм (1,969 дюйма)
Скорость
25 мм/с
