Двойная линейная ось XY для высокоточной регулировки линз для шаговых пластин | сверхтонкое УФ-облучение в чистой комнате — Прецизионные сборки Высокая точная регулировка двух оптических систем. Эта высокоточная двойная линейная ось была разработана специально для шаговых устройств для пластин. Две линзы следует располагать относительно друг друга, а также вместе друг с другом, чтобы получить еще более тонкие структуры во время воздействия УФ-излучения. Это решение состоит из двух скользящих осей на общей направляющей системе. Две подвижные скользящие каретки имеют по три каретки каждая, что позволяет им частично перемещаться внутри друг друга, чтобы максимально близко сблизить линзы. Сверхвысокая визуализация в чрезвычайно сухой среде • Специально разработана для максимизации производительности и разрешения шаговых систем пластин • Одновременное позиционирование линз друг относительно друга, а также друг с другом на расстояние перемещения 350 мм • Повторяемость 1,5 мкм в условиях чрезвычайно сухих чистых помещений • Простое обслуживание благодаря сменному блоку датчика двигателя. Особенности: • УФ-совместимость • Полированные поверхности • Версии для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) • Немедленное использование с предварительно сконфигурированным контроллером, вкл. образцовое программное обеспечение
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осейXYОсобенности линейный, двойной цапфыПрименениедля чистых помещений, для работы с пластинамиДругие характеристикис двигателем постоянного тока, ШВП span>Повторяемость
1,5 мкм, 2,5 мкм
