Больший из двух штативов совместим с модульной системой CLS-92. Ступица наклона наконечника является основным компонентом этой системы позиционирования. Расположение трех револьверных головок обеспечивает возможность поворота и тангажа верхней пластины в диапазоне ±13° для Θx, ±15° для Θy и линейного перемещения в направлении Z на 10 мм. На верхней пластине также имеется паз для установки поворотного столика SR-4011, добавляющего установке четвертую степень свободы. Нижняя пластина, напротив, позволяет осуществлять непосредственный монтаж на макетную плату или XY-платформу, состоящую из двух каскадов линейного перемещения CLS-92. Последняя возможность соответствует системе позиционирования 5D или вместе с SR-4011 системе позиционирования 6D. Механический ход [мм] — 63 (X), 63 (Y), 10 (Z) Ход [ — 26 (Θx), 28 (Θy), неограниченный (Θz) Макс. Нормальная сила [Н] — 5 Макс. Горизонтальная сила [Н] — 2,5 Размеры [мм] — 142 x 142 x 94 Высота платформы над землей [мм] — 94 Вес [г] — ~ 1850 Типы датчиков с обратной связью — S Наименьший шаг [нм] — 1 Наименьший шаг [мкрад] — 1 Повторяемость с обратной связью, полный ход MCS2 [нм] —
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осейXYОсобенности штативПрименениевакуумПовторяемость
50 нм
Ход
6 мм, 31 мм (0,236 дюйма)
