Процесс: ● Адаптация к кремниевым пластинам M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) и 230 мм. ● Совместимость с оборудованием для текстурирования пластин и удаления PSG различных марок. Характеристики: ● Вход: кассета или стопка ● Выход: типы кассет ● Дополнительный высокоточный объем травления, взвешивание, обнаружение мусора, обнаружение ламинирования, переворот ● Дополнительное соответствие 5,6,8, 10 полосам ● Дополнительная поддержка интерфейса MES и функции удаленной отладки OEE статистика и анализ энергопотребления ● Дополнительный интеллектуальный интерфейс IGV
Технические характеристики
ХарактеристикиПараметрыпроцесса
