Процесс: ● Адаптация к кремниевым пластинам M2 (156,75), M4 (161,75), G1 (158,75), M6 (166), M10 (182), M12 (210) и 230 мм. ● Совместимость с оборудованием PERC разных размеров. Характеристики: ● Загрузка. и разгрузка: кассета или стопка ● 3 подачи, 3 выгрузки ● Выход: графитовый контейнер ● Дополнительная поддержка интерфейса MES и функции удаленной отладки Дополнительный интеллектуальный интерфейс IGV ● Статистика OEE и анализ энергопотребления Функция анализа потребления
Технические характеристики
ХарактеристикиПараметрыдля производства, процесса
