Регулятор массового расхода газа серии GF1

Самые быстрые и точные MFC, улучшенные за счет скорости EtherCAT®. Производительность идеальна для полупроводниковых процессов. • Встроенная диагностика использует возможности сбора данных EtherCAT® в реальном времени. • Сверхстабильный датчик расхода (≤ 0,15 % от отклонения SP в год) обеспечивает более точную настройку низких частот. точность точки и снижает требования к техническому обслуживанию • Улучшенное отключение клапана (≤ 0,15% от диапазона бункера) уменьшает утечку через клапан, чтобы уменьшить эффекты первой пластины • Новая улучшенная нечувствительность к переходным процессам давления снижает чувствительность к перекрестным помехам для обеспечения постоянной подачи массового расхода. Особенности • Долговременная нулевая стабильность