Проточный контур высокой чистоты. Превосходная повторяемость, стабильность и время отклика. Модель Brooks SLA7840 представляет собой герметичный прибор из металла высокой чистоты, который контролирует давление при измерении скорости потока. Сигнал дистанционного датчика давления вместе с регулируемой встроенной электроникой ПИД-регулирования и копланарным регулирующим клапаном поддерживают желаемое заданное давление. Копланарный клапан снижает чувствительность к изменениям давления и обеспечивает более низкую скорость утечки по сравнению с другими контроллерами с металлическим уплотнением, обеспечивая более стабильный процесс с течением времени. Особенности • Встроенный датчик давления • Время отклика:
Технические характеристики
ХарактеристикиПрименениегаз, расходДругие характеристикирегулируемый, цифровой
