Оборудование для горизонтальной диффузии/окисления/отжига Данное оборудование в основном используется для легирования и формирования PN-переходов на кремниевых пластинах в процессе производства кристаллических кремниевых солнечных элементов. Подготовьте кварцевые лодочки и пластины → Вставьте пластины → Загрузка пластин → Выберите рецепт → Загрузка лодочки → Вакуумирование трубки → Повышение температуры → Впуск кислорода → Впуск Pocl3 → Вставьте → Обработка DOA → Разгрузка лодочки → Охлаждение → Тестирование → Выгрузка пластин. · Диффузия под низким давлением, окисление и отжиг. · Технологическое решение с высоким сопротивлением листам. · Запатентованная технология, доступная для диффузии бора. · Уникальная конструкция дверцы печи с двухслойной закладкой. · Запатентованная технология системы очистки выхлопных газов. · Высокоскоростной модульный механизм толкания лодки. · Высокоточная технология стабилизации давления источника воздуха. · Интеллектуальное автоматическое управление. · Программное обеспечение MES с независимым правом интеллектуальной собственности. · Защита от перегрева, поломки термопары и столкновения лодки. · Подберите интеллектуальное заводское решение SC.
Технические характеристики
ХарактеристикиПрименениедля энергетикиМетод производствабольшая серия
