Оптика превосходного качества сочетается с уникальным сочетанием высокой энергии импульса, коротких волн УФ-излучения и высокой мощности.
Многие применения эксимерных лазеров требуют оптики доставки – для проецирования, гомогенизации и/или ослабления луч. Компания Coherent использует непревзойденное сочетание опыта и технических знаний для создания оптомеханических инструментов для решения этой задачи.
Технические характеристики
Технические характеристики продукта
Тип продукта | Основные характеристики |
Аттенюаторы | Переменный аттенюатор включает в себя компенсационную пластину для устранения отклонения луча |
Гомогенизаторы | Формирует 5×5 мм или 10×10 однородное поле поля мм с <,±5% отклонением |
Проекционные линзы | 5-кратное или переменное 4-10-кратное уменьшение с более высокими значениями по запросу |
