Бинарный газовый коллектор (BGMA) имеет одинаковую проводимость на каждом выходе, что обеспечивает наиболее равномерный поток газа и максимально быстрое время реакции на реактивное распыление, независимо от длины коллектора. Равномерность потока проверяется методом конечных элементов. Он имеет прочную, простую конструкцию и легко чистится. Характеристики Одинаковая проводимость на каждом выпуске независимо от длины Сегментация для основного и дополнительных газов В комплекте с монтажным оборудованием и защитой от отходов Прочная и простая конструкция Преимущества Высочайшая однородность Быстрое время отклика при реактивном распылении Долговечность и простота очистки
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество каналовМногоканальностьПриложениядля газа
