ORION NanoFab — это многолучевой ионный микроскоп 3-в-1, предназначенный для изготовления наноструктур размером менее 10 нм с использованием механизма NanoPatterning and Visualization Engine и других приложений. Он имеет три типа лучей, между которыми пользователи могут легко переключаться: галлиевые, гелиевые и неоновые лучи. Галлиевый FIB подходит для удаления массовых веществ из пробы вещества. С другой стороны, гелиевый луч идеально подходит для изготовления структур размером менее 10 нм. Неоновый луч позволяет пользователям формировать наноструктуры с высокой скоростью и высокой производительностью. NanoFab имеет высокое разрешение изображения 0,5 нм, что позволяет получать изображения образцов с высоким разрешением с использованием одного и того же прибора.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнические приложениядля анализа материаловДругие характеристикицифровая камера, луч ионов гелияРазрешение
0,5 нм
