Система контроля поверхности пластин серии LS может обнаруживать дефекты на пластинах без рисунка с зеркальной поверхностью. Применяемая технология лазерного рассеяния обеспечивает высокую чувствительность и высокую производительность обнаружения мелких загрязнений и различных типов дефектов на поверхности пластин перед нанесением рисунка. Дефекты поверхности пластины, такие как мелкие царапины, дефекты плоскостности, водяные знаки, дефекты укладки эпитаксиальных пластин, выступы в процессе полировки и дефекты плоскостности, возникающие во время осаждения, вызывают проблемы в процессах следующего поколения. Серия LS обеспечивает высокую чувствительность за счет обнаружения света, рассеянного дефектами, при одновременном подавлении фонового шума от поверхности пластины. Он широко применяется для контроля загрязнения при производстве полупроводников размером 10 нм, а также для контроля качества доставки и входящих пластин. Оптика • Новая оптика обеспечивает высокочувствительный контроль. Стол для полупроводниковых пластин. • Высокоскоростной столик, обеспечивающий высокую производительность контроля. Применение. • Для производителя устройств: входной контроль и мониторинг технологического инструмента. • Для производителя инструментов и материалов: использование для оценки процесса и материала. • Для поставщика пластин: выходной контроль. с использованием обработки кромок пластин. Обнаружение дефектов • Высокая точность обнаружения. Размер пластины • φ300 мм.
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологииоптическиеСекторпромышленныеПрименениеповерхностный, для безрисунковых пластинДругие характеристикидефект, высокоскоростной
