Системы LineBeam — это оптическая технология, позволяющая массово производить объединительные платы LTPS на больших панелях подложки с максимальной производительностью.
Поставка линейных профилей балок длиной до 1500 мм для панелей размером до Gen 10.5. Обеспечивает однородность луча по короткой и длинной осям для максимальной пропускной способности и использования луча. Превосходная стабильность импульса и большая глубина резкости обеспечивают большое окно обработки.
Технические характеристики
Технические характеристики продукта
Параметр | Значения | |||
Длина линии (мм) | 750 | 1000 | 1300 | 1500 |
Тип профиля балки | Цилиндр по обеим осям | |||
Глубина резкости ( мкм) | ±150 | ±120 | ±120 | ±120 |
Однородность по длинной оси (%) | 0,6 (2σ) | |||
Однородность по короткой оси (%) | 0,8 (2σ) |
