Гибридные ступени привода сочетают в себе преимущества ступеней скачкообразного перемещения с большим диапазоном хода и пьезосканеров высокого разрешения. Как и все гибридные ступени привода SmarAct, DLS-5252 сочетает в себе преимущества скачкообразных ступеней с длинным ходом и пьезосканеров высокого разрешения. DLS-5252 совместим с модульной системой SmarAct, что означает, что столик можно легко установить на столики CLS-52, эквивалентные столики вращения, а также на все переходные пластины и соединительные элементы. Для сцены требуется только один канал MCS2, хотя она состоит из двух разных приводов. Диапазон механического сканирования [мкм] > 35 Блокирующая сила [Н] > 3,5 Макс. Нормальная сила [Н] 5,0 Макс. Подъемная сила [Н] > 1,5 Вес [г] — 130 Размеры [мм] 52 x 52 x 15 (Д x Ш x В) Резонансная частота (без нагрузки) [Гц] — > 350 Замкнутый контур Замкнутый контур Разрешение MCS2 [ нм] — 1 (S) Частота среза сканирования [Гц] -> 10
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациялинейнаяТиппьезоДругие характеристикикомпактный, алюминиевый, с замкнутым контуром, совместимый с вакуумом, немагнитныйХод
30 мм (1,181 дюйма) )
Скорость
Мин.: 0 мм/с
Макс.: 20 мм/ с
