Комбинированный модуль Z3TH расширяет набор модулей, которые могут устанавливаться поверх существующих XY-платформ. Модуль Z3TH с 4 степенями свободы обеспечивает вращение Тета на 364°, две оси Z: грубую для загрузки и выгрузки пластин и точную для регулировки фокуса, а также коррекцию наклона и наклона более ±0,1°. Этот модуль Z3TH является хорошей альтернативой пьезоприводам Z, устраняя гистерезис и нелинейность в разомкнутом контуре, обеспечивая при этом лучшую ошибку отслеживания во время движения, повторяемость, а также производительность перемещения и стабилизации даже при гораздо более длительных перемещениях. Модуль Z3TH в первую очередь предназначен для приложений начального типа и представляет собой правильное решение для любых приложений, требующих: — Выравнивания технологического инструмента и подложки — Картирования плоскостности — Улучшения перемещения и стабилизации. конечная литография и контроль процесса изготовления пластин. Характеристики — Тета-вращение на 364° — Коррекция наклона и наклона более ±0,1° для выравнивания, а также для улучшения перемещения и стабилизации — Вакуумная подача на уровень патрона — Двойная интеграция Z: грубый ход для загрузки/разгрузки и точный ход для регулировки фокуса — Совместимость с чистыми помещениями класса 1 по ISO — низкое радиальное осевое и радиальное биение ±1 мкм.
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осейXYОсобенности поворотный, вертикальныйПрименениедля контроля пластин и метрологииДругие характеристикикомбинированные модули
