Измерительная электроника ZMI™ рассчитывает смещение, используя оптические сигналы интерферометров, возбуждаемых лазерным источником ZMI™. ZMI™ 501A обеспечивает две оси измерения в удобном автономном корпусе. Платы серий ZMI™ 2400, 4000 и 4100 обеспечивают субнанометровое разрешение для обслуживания самых сложных приложений метрологии положения. Эти платы можно модульно добавлять в шасси VME, чтобы обеспечить масштабируемость до 64 осей измерений. Для обеспечения максимальной точности измерений наша запатентованная опция циклической коррекции ошибок автоматически и плавно устраняет распространенные нелинейные ошибки, присущие системам DMI.
Технические характеристики
ХарактеристикиПриложениядля измерения смещенияПараметры лазерный, оптический, дифференциальный
