Инвертированный эмиссионный микроскоп — это система обратного анализа, предназначенная для определения мест неисправностей путем обнаружения света и тепла, излучаемых дефектами в полупроводниковых устройствах. Обнаружение сигнала с обратной стороны облегчает использование зонда и карты зонда на поверхности пластины, а установку образца можно выполнять плавно. Платформа, на которую можно установить несколько детекторов и лазеров, позволяет выбрать оптимальный детектор для выполнения различных методов анализа, таких как анализ светового излучения и тепловыделения, ИК-ОБИРЧ-анализ и других, более того, позволяя эффективно выполнять динамический анализ при подключении тестера. . ●iPHEMOS-DD При прямом подключении к тестеру LSI можно уменьшить задержку сигнала из-за длины соединительного кабеля и сделать возможным анализ образцов высокоскоростного вождения. Специальный зонд с прямой стыковкой позволяет прикреплять многоконтактную иглу к пластинам диаметром 300 мм, а с помощью дополнительной опции можно выполнять анализ упаковки, а также прикреплять иглу к игле с помощью манипулятора. Особенности • Две камеры сверхвысокой чувствительности, которые можно установить для анализа излучения и термического анализа. • Возможна установка лазеров до 3 длин волн и зондового источника света для EOP. • Мультиплатформа с возможностью установки нескольких детекторов. • Высокочувствительный макрообъектив и до 10 объективов. подходит для каждой длины волны чувствительности детектора Опции • Включает систему лазерного сканирования • Анализ излучения с помощью высокочувствительной камеры ближнего инфракрасного диапазона • Термический анализ с помощью высокочувствительной камеры среднего инфракрасного диапазона • IR-OBIRCH-анализ • Динамический анализ с помощью лазерного облучения • ЭО-зондовый анализ • Анализ высокого разрешения и высокой чувствительности с использованием NanoLens
Технические характеристики
ХарактеристикиТипинфракрасныйТехническое применениепроверка ЭргономикаинвертированныйТехника наблюденияближний инфракрасный диапазонДругие характеристикицифровая камера, высокое разрешение, высокоскоростная, фотоэмиссия
