Это устройство используется для подготовки желаемой части пластины для анализа с помощью STEM, TEM и т. д. путем извлечения микрообразца ионным лучом в вакуумной камере системы FIB. Устройство микроотбора FIB и метод микроотбора FIB Пример отбора проб микропиллерами FIB Образец микростолбика, включая точку анализа, вырезается непосредственно из полупроводникового устройства. Микрообразцы вырезаются или обрезаются до различной формы путем изменения направления падения FIB. Новая система оценки полупроводниковых устройств состоит из системы FB2200 FIB и системы STEM HD-2700 200 кВ. Система выполняет функции от поиска дефектных точек до анализа структуры в субнанометровом масштабе за несколько часов.
Технические характеристики
ХарактеристикиРаботаавтоматическаяПрименениедля SEM
