NanoChrome обеспечивает ультра-следовые измерения газов сверхвысокого давления. Используя последние достижения в области газоанализа и методологии обработки сигналов, NanoChrome совершает революцию в ультра-следовых измерениях чистоты в полупроводниковой промышленности. Надежный мониторинг сверхвысокого давления Высокопроизводительный анализатор, специально разработанный для производства полупроводников, NanoChrome обеспечивает высочайшую надежность мониторинга аргона (Ar), метана (CH4), оксида углерода (CO), диоксида углерода (CO2), водорода (H2). , азот (N2) и неметановые углеводороды (NMHC) в широком диапазоне распространенных фоновых газов, включая Ar, H2, гелий (He), N2 и кислород (O2). Оборудованный увеличенным дисплеем и новейшим программным обеспечением, NanoChrome использует усовершенствованный датчик детектора плазменного излучения (PED) и чувствительное программное обеспечение ProPeak, специально разработанные Servomex. Высокая производительность при более низких затратах Сенсорная технология NanoChrome обеспечивает значительные преимущества по сравнению с традиционными сенсорными технологиями пламенно-ионизационного детектора (FID) и детектора восстановительного газа (RGD) с точки зрения производительности, стабильности, безопасности и способности снижать текущие затраты. Усовершенствованная технология восстановления сигнала Servomex использует запатентованные методы фильтрации ProPeak для обеспечения высокочувствительных и выборочных измерений, на которые можно положиться. Поскольку нет необходимости в метанизаторе или горючем топливном газе, NanoChrome также обеспечивает значительную экономическую выгоду.
Технические характеристики
ХарактеристикиИзмеряемая величинакислород, диоксид углерода, оксид углерода, метан, аргон, гелий, водородОбласть применениямониторингИзмеренное значениеслед, теплопроводностьКонфигурация для интеграцииТехнологияпламенно-ионизационная, газовая хроматография на основеДругие характеристикивысокопроизводительная, NMHC
