Двойной портал XYZ для контроля полупроводников. Настраиваемый • Идеально подходит для автоматического контроля пластин/полупроводников • Очень большой диапазон перемещения: 2 x 720 x 720 x 100 мм каждый • Позволяет интегрировать два процесса одновременно Эта система контроля состоит из четырех осей чистого помещения и позволяет автоматическое измерение нескольких объектов одновременно. Достигаются высокая динамика и высочайшая воспроизводимость. Одна камера или датчик высокого разрешения с каждой стороны перемещается относительно образца для проверки геометрии, выполнения измерений и документирования особых показателей качества. Технические характеристики — Ход: 2 x 720 x 720 x 100 мм — 2 оси X для сканеров/микроскопов до 25 кг — 2 оси Y для патронов до 23 кг / пластин до 12 футов / 300 мм — повторяемость : 1,5 — ± 0,3 мкм — Скорость: 750 — 1500 мм (XY) / 150 — 300 (Z) — Макс. нагрузка: 150 Н (XY) / 200 Н (Z) — Привод: линейный двигатель (без железа), профильная рейка (XY) | шариковый винт, сервопривод переменного тока (Z) — Обратная связь: линейная шкала, энкодер двигателя — Контроллер движения: FMC-250/280, ACS, интеграция с ПЛК — Класс чистого помещения: ISO 2 Индивидуальные опции: — Адаптация к процессу, держатель образца, головка / датчик — Версии для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) — Стойка, виброизоляция, корпус, концепция безопасности — Соединения для крышек всасывающего и циркуляционного ремней — Расширение степеней свободы для движений XYZ-Rx-Ry-Rz — Индивидуальный поиск решения с помощью 3D-проектирования для задачи позиционирования
Технические характеристики
ХарактеристикиКоличество осеймногоосевой, XYZ, 4-осный Особенностилинейные, автоматические, вертикальные, горизонтальные, портальныеПриложениядля роботов, промышленные, многофункциональные, для контроля пластин и метрологии, для полупроводников промышленность, для чистых помещений, для гигиенических применений, для оптических применений, для микроскопии, для подготовки проб, для контроля качества, печатная платаДругие характеристикиС сервоуправлением, компактный, шариковый винт, USB, высокого разрешения, с линейным двигателем, с сервоприводом, комбинированные модули, большая апертура, профилированная рейка, высокоскоростной, для гранитных плит, прецизионный, с контроллеромПовторяемость
Мин.: 0,3 мкм
Макс.: 2,5 мкм
Нагрузка
Мин.: 5 кг (11,02 фунта)
Макс.: 20 кг (44,09 фунта)
Ход
Мин.: 100 мм (3,937 дюйма)
Макс.: 720 мм (28,346 дюйма)
Скорость
Мин.: 150 мм/с
Макс.: 1500 мм/с
