XY-поворотные столики с открытой рамой, разработанные с низким профилем для работы с пластинами и многих других автоматизированных приложений точного позиционирования в промышленности по производству полупроводников. XY-приводной механизм, расположенный сбоку устройства, и большой центральный поворотный стол со сквозным отверстием обеспечивают свободный беспрепятственный доступ к пластине.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияXY, поворотнаяКоличество осей2 осиДругие характеристикиоткрытая рама, для работы с пластинамиХод
200 мм (7,874 дюйма)
Скорость
400 мм/с, 800 мм/с
