Низкопрофильные XY-поворотные столики с открытой рамой, предназначенные для обработки пластин и многих других задач автоматического точного позиционирования в полупроводниковой промышленности. XY-приводной механизм, расположенный сбоку от устройства, и большой центральный поворотный стол со сквозным отверстием обеспечивают свободный беспрепятственный доступ к пластине с обеих сторон.
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияXY, поворотнаяКоличество осей2 осиДругие характеристикиоткрытая рама, для работы с пластинамиХод
280 мм (11,024 дюйма)
Скорость
400 мм/с, 800 мм/с
