Виброметрическая система для микроструктур и МЭМС. Высокоточное бесконтактное измерение вибрации микрообъектов. Простая настройка и обслуживание. Широкие возможности триггера. XY-стол 50 мм x 50 мм, другие опции по запросу. Объектив микроскопа 10x, 20x, 50x Диаметр пятна 2 мкм — 10 мкм, (в зависимости от цели) Возможно OEM-использование виброметрического блока. Открытые интерфейсы для OEM-программного обеспечения под Windows и Linux. Программное обеспечение БПФ для спектрального анализа. Анализатор вибрации Nano NA представляет собой комбинацию виброметра с оптоволоконной связью серии LSV 120 NG. с инженерным микроскопом. Система идеально подходит для измерения динамического поведения и статического отклонения микроструктур, МЭМС и кантилеверов. В зависимости от используемого объектива может быть достигнут размер пятна измерения менее 2 мкм. Измеряемый объект можно позиционировать и сканировать в широком диапазоне с помощью столика XY, а также наблюдать через камеру. Объектив микроскопа является взаимозаменяемым и определяет как видимый диапазон, так и диаметр лазерного пятна. Достижимое разрешение смещения лазерного интерферометрического виброметра находится в пикометрическом диапазоне, и можно анализировать частоты вибрации до 5 МГц. Для сбора и отображения данных измерений предлагается специально разработанное программное обеспечение. Помимо частотного анализа вибрации и регистрации измерений, это программное обеспечение позволяет управлять столом XY и внешним генератором частоты. Более обширные последовательности измерений можно автоматизировать с помощью сценариев. Внимание! Из-за санкций мы на данный момент не осуществляем доставку в Россию и Беларусь.
Технические характеристики
ХарактеристикиДругие характеристикивысокая точность
