XY-предмет с апертурой и поперечными роликовыми подшипниками обеспечивает высокую динамику и скорость для работы в высоком, сверхвысоком вакууме и в условиях сильного ультрафиолетового излучения. По сравнению со своим размером он обеспечивает очень малые размеры шага. Оснащенный пьезодвигателем, он достигает мельчайших шагов в нанометровом диапазоне с практически недостижимой стабильностью положения. Благодаря нанодвижению он достигает очень высокой динамики, а также высоких скоростей и имеет максимальный срок службы с точностью до микрометра. Его можно легко комбинировать с подъемной платформой MT105, что открывает множество возможностей применения. Области применения Прецизионное позиционирование для лабораторных применений, микроскопии и полупроводниковых технологий, исследований в сверхвысоком вакууме и сильном ультрафиолетовом излучении, подготовки проб, сканирования проб, обработки проб, биочипов, проверки пластин, выравнивания пластин, настройки камеры, исследования материалов, материалов анализ, луч, ускоритель, синхротрон
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентацияXYТиппьезоКоличество осей2 осиДругие характеристикивысокая точность, компактность, совместимость с вакуумом, для микроскопов, высокоточный скорость, скрещенный роликХод
50 мм (1,969 дюйма)
Скорость
2,5 мм/с, 25 мм/с
