• Вакуум: все диапазоны HV/UHV/EUV до 10E-11 мбар • Смазочная жидкость до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар • Макс. Температура обжига: 120°C • Доступна магнитная версия • Класс чистых помещений 4 согласно ISO 14644-1. Опционально конфигурируется: • Выбор материала и вакуумная смазка в соответствии с применением • Индивидуальная адаптация к условиям установки в камере • Версия для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) • Опционально с контроллером FMC400/450 Точная ступень подъема для высоких нагрузок Подъемная ступень подходит для высокоточных вертикальных перемещений в экстремальных условиях, например, в высоком и сверхвысоком вакууме. . Благодаря принципу подъемного клина он достигает своих параметров, несмотря на небольшую общую высоту. Комбинация мотор-редукторов и точной шарико-винтовой передачи, а также дополнительного ходового винта обеспечивает минимальный размер шага при сравнительно высоких нагрузках. Области применения Прецизионное позиционирование в промышленности и исследованиях в сверхвысоком вакууме и в условиях сильного ультрафиолетового излучения, выравнивание пластин, выравнивание камер, исследование материалов, анализ материалов, микроскопия в вакууме, лучевые линии, ускорители, синхротроны
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациявертикальнаяТипмоторизованнаяДругие характеристикивысокоточный, вакуумный, промышленный, для больших нагрузок, из нержавеющей стали, со встроенным шаговым двигателем, с контроллером, для работы с пластинами, шариковый винт, крестообразный роликХод
16 мм (0,63 дюйма)
Скорость
1,1 мм/с
