Являясь экологически чистой системой логистики полупроводников, это система автоматического подъема и хранения, которая перемещает пластины FOUP и FOSB на каждый этаж. Технические характеристики: Ход подъема: Макс. 60 м. Скорость подъема: 360 м/мин. Время загрузки вил: В течение 3 с. Ускорение/торможение: 2 м/с². Вибрация: Не более среднеквадратичного значения 0,8G.
Технические характеристики
ХарактеристикиПрименение продуктадля вставки, для полупроводников
