Продлите срок службы, снизьте стоимость владения и улучшите производительность инструментов ионных имплантатов с помощью услуг Coherent по восстановлению дисков и нанесению покрытий.
Coherent располагает обширными возможностями по ремонту, восстановлению и восстановлению любого диска ионного имплантатора или радиатора. Сюда входят все марки и модели ионных имплантаторов периодической обработки, выпущенные с конца 1970-х годов по настоящее время.
Технические характеристики
Все складывается Наши ведущие в отрасли инновации позволяют увеличить срок службы в 2 раза, уменьшить сколы пластин на 99%, уменьшить загрязнение металлами на 50%, снижение на 80 % образования частиц, вызывающих износ в ограждении, и экономия средней стоимости владения на 30 %. | Высокоэффективные покрытия Когерентное низкотемпературное эластомерное покрытие и покрытие радиатора улучшают охлаждение пластин, повышают производительность и улучшают однородность температуры между контактными площадками. | Торлоновые ограждения в сборе Используйте износостойкий материал Torlon для значительного увеличения срока службы упора и диска, существенного уменьшения сколов пластин, сокращения износа канавок на упоре и снижения загрязнения металлами. |
Улучшенная конструкция упора Конструкция высокоточного упора с ввинчивающимся подшипником обеспечивает более длительный срок службы, отсутствие асимметричного износа упора и исключает задержку частиц, которая возникает в OEM-компонентах с обжимным расположением. |