Криочиллеры Edwards Polycold® MaxCool представляют собой криогенные холодильные системы с замкнутым контуром, которые эффективно улавливают водяной пар, который составляет от 65% до 95% остаточного газа в системах высокого вакуума. Эти криочиллеры можно использовать для улавливания водяного пара и других конденсируемых веществ путем их замораживания на холодной поверхности, такой как криоспираль или шевронная перегородка. Криочиллеры MaxCool также используются для охлаждения и нагрева таких объектов, как электростатические патроны, используемые при обработке полупроводниковых пластин. Различные модели в нашем ассортименте обеспечивают мощность охлаждения 2000, 2500 или 4000 Вт. Откачка водяного пара Водяной пар обычно является наиболее реактивным загрязнителем, присутствующим в системах высокого вакуума. Используя наши криочиллеры MaxCool, вы можете рассчитывать на увеличение производительности вашей существующей системы на 20–100 % и улучшение качества осаждения. Время откачки в высоком вакууме сокращается до 75 %. Увеличение производительности продукта на 20–100 %. Снижение парциального давления водяного пара во время обработки, что обеспечивает более высокое качество пленки, лучшую адгезию и более воспроизводимое осаждение. Быстрая окупаемость инвестиций за счет устранения периодических затрат на жидкий азот. Минимизируйте стоимость владения за счет управления электропитанием. Высокопроизводительное охлаждение и нагрев для широкого спектра процессов.
Технические характеристики
ХарактеристикиМатериалвода, газДругие характеристикивысокоскоростнаяМощность
4000 Вт (13 648,56 БТЕ/ч)
Максимальная температура
Мин.: -133 °C (-207 °F)
Макс.: -98 °C (-144 °F)
Скорость потока
Мин.: 10 000 л/с (2 641,721 галлона США/с)
Макс.: 220 000 л/с (58 117,852 мы, девочки)