COBRA DS 0600 E Усовершенствованная конструкция шнека Эффективность: низкие эксплуатационные расходы, минимальное обслуживание, длительное время безотказной работы Гибкость: ориентация на применение Короткое время обработки: благодаря высокой скорости откачки Компактная конструкция COBRA DS 0600 E — это вакуумный насос с сухим шнеком из проверенной серии COBRA DS . Высокая скорость откачки, даже в условиях, когда требуется высокая производительность водорода, делает винтовые вакуумные насосы COBRA DS идеальными для всех сложных процессов производства фотоэлектрических элементов, плоских панелей и полупроводников. Современная винтовая вакуумная технология COBRA DS позволяет откачивать среды, содержащие порошок и частицы. Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA DS отличаются сухим сжатием, специально разработанным профилем винта и беспрепятственным выпуском газа. Результатом является высокая степень устойчивости к пару и частицам. Винты изготовлены из цельной отливки, что позволяет избежать зазоров, что делает невозможным попадание технологических жидкостей или частиц и тем самым предотвращает коррозию. COBRA DS 0600 E, оснащенный высокоэффективным двигателем, обеспечивает превосходную энергоэффективность. Благодаря низким требованиям к техническому обслуживанию, низким эксплуатационным расходам, очень длительному времени безотказной работы и длительному жизненному циклу общая стоимость владения очень низкая, что устанавливает стандарт в этом классе производительности. Модернизация этого винтового вакуумного насоса в существующих системах может быть выполнена быстро и легко благодаря конструкции, монтируемой на месте. Области применения CVD с плазмой высокой плотности (HDP-CVD) Быстрая термическая обработка (RTP) CVD при субатмосфере (SACVD) CVD с металлоорганическими соединениями (MOCVD) CVD с плазменным усилением (PECVD) CVD с низким давлением (LPCVD) Атомно-слоевое осаждение (ALD) ) Замок нагрузки высокой мощности
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиявинтСмазкасухаяПрименениеплазмаДругие характеристикикомпактностьПредельный вакуум
0,01 мбар (0 фунтов на квадратный дюйм)
Расход
600 м³/ч (21 188,8 футов³/ч)
