COBRA DS 0080 / 0160 G Усовершенствованная конструкция шнека Эффективность: экономичность, минимальное обслуживание, длительное время безотказной работы Гибкость: ориентация на применение Короткое время обработки: благодаря высокой скорости откачки Прочность: антикоррозионное покрытие внутренних компонентов Компактная конструкция COBRA DS 0080/0160 G — сухие винтовые вакуумные насосы проверенной серии COBRA DS. Высокая скорость откачки, даже в условиях, когда требуется высокая производительность водорода, делает винтовые вакуумные насосы COBRA DS идеальными для всех сложных процессов производства фотоэлектрических элементов, плоских экранов и полупроводников. Современная технология винтового вакуумного насоса COBRA DS позволяет откачивать среды, содержащие порошок и частицы. Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA DS отличаются сухим сжатием, специально разработанным профилем винта и беспрепятственным выпуском газа. Результатом является высокая степень устойчивости к пару и частицам. Винты изготовлены из цельной отливки, что позволяет избежать зазоров, что делает невозможным попадание технологических жидкостей или частиц и тем самым предотвращает коррозию. COBRA DS 0080/0160 G, оснащенная высокоэффективными двигателями, обеспечивает превосходную энергоэффективность. Благодаря низким требованиям к техническому обслуживанию, низким эксплуатационным расходам, очень длительному времени безотказной работы и длительному жизненному циклу общая стоимость владения очень низкая, что устанавливает стандарт в этом классе производительности. Модернизация этих винтовых вакуумных насосов в существующих системах может быть выполнена быстро и легко благодаря конструкции, монтируемой на месте. Области применения CVD с плазмой высокой плотности (HDP-CVD) Быстрая термическая обработка (RTP) CVD при субатмосфере (SACVD) CVD с металлоорганическими соединениями (MOCVD) CVD с плазменным усилением (PECVD) CVD с низким давлением (LPCVD) Атомно-слоевое осаждение (ALD) )
Технические характеристики
ХарактеристикиТехнологиявинтСмазкасухаяПрименениеплазмаДругие характеристикикомпактный, антикоррозионныйМаксимальный вакуум
0,03 мбар (0 фунтов на квадратный дюйм)
Расход
85 м³/ч (3001,75 фут³/ч)
