ОПТИЧЕСКИЙ ПЬЕЗО ВЕРТИКАЛЬНЫЙ СТУПЕНЬ 1. Предлагает 1 вид диапазона перемещения, который составляет 10 мм. 3. Высокоточное типичное разрешение 1 нм и стандартное 100 нм. Оптический чувствительный элемент применяется в качестве ядра для обратной связи по положению. Эта серия продуктов подходит для любого применения, требующего высокоточного позиционирования и управления движением. Он содержит не только надежные и стабильные возможности позиционирования, но и различные варианты разрешения. ПРИМЕНЕНИЕ Полупроводниковая промышленность Биомедицинская оптоэлектроника/Промышленность оптической связи
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациявертикальнаяТиппьезоДругие характеристикиточность, стандартСкорость
10 мм/с
Повторяемость
50 нм
Нагрузка
150 г (5,29 унции)