Эта система автоматического хранения предназначена для чистой системы логистики полупроводников, которая хранит и сортирует пластины FOUP, FOSB, POD и кассеты. Он может быть реализован в различных формах, таких как камерный тип, стоечный тип и другие, которые соответствуют требуемым спецификациям различных полупроводниковых процессов. Характеристики Чистота окружающей среды: Класс 1 ~ Класс 1000. Скорость: 1,5 м/с. Ускорение/торможение: 2,5 м/сек². Вибрация: не более среднеквадратичного значения 0,5 G. Продувка: постоянная продувка PN2. Контроль окружающей среды: влажность, температура, давление, концентрация кислорода.
Технические характеристики
ХарактеристикиТипвертикальныйПриложениякассетный, для тарелокДругие характеристикис постоянным контролем температуры и влажности
