• Вакуум: все диапазоны HV/UHV/EUV до 10E-11 мбар • Смазка жидкая до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар • Макс. Температура обжига: 120°C. Опционально конфигурируется: • Доступен в магнитной, слабомагнитной и безмагнитной версии • До 2 различных двигателей для перемещения высоких грузов • Различные варианты двигателей: Nanomotion, пьезодвигатель или линейный двигатель • Комбинируется с XYZ система позиционирования • Комбинируется с поворотными столами (например, DT105) для ротационных применений • Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере • Версия для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) • Опционально с контроллером FMC400/450 Гибкая и универсальный для сложных условий окружающей среды MT105 — это универсальный микропредметный столик, который впечатляет, прежде всего, своей высокой динамикой и скоростью. Он разработан для достижения превосходной точности работы и позиционирования в экстремальных условиях, например, в высоком и сверхвысоком вакууме, а также в немагнитных приложениях. Опционально микропредмет может быть оснащен двумя двигателями для позиционирования более высоких нагрузок. Области применения Полупроводниковая технология в сверхвысоком вакууме и при сильном ультрафиолетовом излучении, юстировка пластин, юстировка камеры, юстировка датчиков, проверка контактов, юстировка зеркал, зондирование, вакуумные камеры, исследования, измерительные приборы лучевой линии, сборка и проверка электроники, высокая точность приложения для сканирования, микросборка
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациялинейнаяТиппьезо, с линейным приводомДругие характеристикивысокая точность, вакуумный, немагнитный, высокоскоростной, для больших нагрузок, для работы с пластинами, индивидуальный, универсальныйХод
30 мм, 50 мм, 100 мм (1,181 дюйма)
Скорость
5 мм/с, 50 мм/с
