• Вакуум: все диапазоны HV/UHV/EUV до 10E-11 мбар • Смазочная жидкость до 10E-8 / сухая до 10E-11 мбар • Макс. Температура обжига: 120°C • Класс чистой комнаты 4 по ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) • Очень длительный срок службы, даже при работе всухую. Опционально конфигурируется: • Доступен с пьезоразрывом • Выбор материала и вакуумная смазка адаптированы к применению • Индивидуальная адаптация к ситуации установки в камере • Версия для чистых помещений ISO 14644-1 (до класса 1 по запросу) • Опционально с контроллером FMC400/450 Стабильность в нанометровом диапазоне даже при высоких нагрузках до 10 кг Линейная ступень предназначен для размещения грузов с высокой жесткостью в экстремальных условиях, например, в высоком и сверхвысоком вакууме. Эта система позиционирования, оснащенная пьезоэлектрическим суппортом, обеспечивает стабильность в нанометровом диапазоне. Области применения Полупроводниковые технологии в сверхвысоком вакууме и при сильном ультрафиолетовом излучении, выравнивание пластин, проверка пластин, выравнивание камер, выравнивание датчиков, проверка контактов, выравнивание зеркал, зондирование, вакуумные камеры, исследования, измерительные приборы лучевой линии, сборка и проверка электроники , приложения для высокоточного сканирования
Технические характеристики
ХарактеристикиОриентациялинейнаяТипмоторизованнаяКоличество осей1 осьДругие характеристикивысокая точность, совместимость с вакуумом, для микроскопов, для тяжелых нагрузок, со встроенным шаговым двигателем, с контроллером, для перемещения пластин, лабораторный домкрат, скрещенный роликХод
50 мм, 100 мм (1,969 дюйма)
Скорость
5 мм/с
Повторяемость
Макс.: 4 мкм
Мин .: 0,5 мкм
